受講形式 WEB受講のみ ※本セミナーは、Zoomシステムを利用したオンライン配信となります。 ※Live配信のみ（録画視聴はありません） 受講対象 業 種：電子デバイス製造に関係する企業様 所属部署：品質管理、生産技術、研究開発（製造装置メーカー様） レベル ：初心者の方から経験者の方まで 予備知識 ・IEC-61340 5-1・5₋2規格 ・RCJS規格 習得知識 １）IEC 61340・RCJS規格が推奨する基本的な対策 ２）静電気測定の基本 ３）イオナイザーによる静電気対策の基本 ４）イオナイザーの評価・管理の基本 ５）拡散性材料による静電気対策の基本 ６）拡散性材料の評価・管理の基本 ７）静電気放電検知の基本 講師の言葉 電子デバイス製造工程において、静電気帯電を起因とした不良・不具合問題の事例が多くなってきました。それに伴い、静電気放電（ESD）対策に関する対応が年々増えており、その内容も複雑かつ難しい（低電位管理）内容になってきております。この様な背景は、ESD対策において当初は人体帯電対策（HBM）が主要な対象でしたが、その後帯電したデバイスの対策（CDM）、電子基板からの放電（CBE）やケーブルからの放電（CDE）等様々な物の帯電が要因となるケースが増えてきているからです。 更に、PCBの実装・製品組み立て工程におけるESD問題も、報告がされております。加えて、LSI製造技術が進展しチップレット技術の採用に伴い、更なる対策（±30V以下）が求められています。これからのESD対策の為には、問題に対しての新たな認識や知識が求められてます。 本セミナーは、静電気の基本を再認識し、ESD対策に関する基本的なアプローチについて解説します。更に、最近の動向や計測器を用いた実演を参考に、効果的な静電気対策方法などを分かりやすく説明します。海外で言われている、静電気対策に関する間違った認識 ・クラス0技術（HBM 250V以下の対策）にはANSI S20.20（IEC規格）で十分 ・HBM（人体帯電）の故障がESD故障の大半を占める ・回路基板（PCB）は常にデバイスよりもESDに弱い ・気流は帯電の原因 ・ESDには湿度管理が不可欠 ・電界計（静電気測定器）は装置内部の正確な帯電測定を行う ・ESD故障の90%はレイテンシ（潜在不良）故障である
プログラム
I.静電気対策初級編：
１．静電気の基礎
・静電気とは？（静電気利用と問題）
・電荷・静電容量・電位
・静電気発生のプロセス（摩擦・剥離・誘導と帯電列）
・静電気放電（ESD）のプロセス（コロナ・グロー・アーク）
・帯電電位と塵埃付着の関係（エッジ効果）
・静電気問題及び対策（静電気の数値化・可視化）
①抵抗測定器（靴・リストストラップ・床・拡散性対策材料）
②静電気測定器（電界計・ACFB表面電位計・DCFB表面電位計）
実演：歩行中の人体帯電測定・対象物の大きさと測定精度
③電荷量の測定（ナノクーロンメーター）
④イオナイザーの検査・評価（チャージド・プレートモニター）
⑤静電気放電の検出
２．静電気による問題
・人体帯電モデル（HBM）
・チャージﾄﾞデバイスモデル（CDM）
・帯電したPCB基板からの静電気放電（CBE）
・帯電したケーブルからの静電気放電（CDE）
・静電気帯電が形成する電界による誘導帯電
３．静電気対策
・接地
・導電性材料・拡散性材料の使用（温湿度環境と表面抵抗値・対策レベルと表面抵抗値）
・加湿（湿度環境と静電気帯電電位の関係）
・静電シールド（電界の遮蔽）
・イオナイザー
①イオンの生成方式：放射線型・DC型・パルスDC型・AC型・パルスAC型・高周波型・次世代AC型
②形式：バー型・デスクトップ型・オーバヘッド型・ノズル型・ガン型
③イオンバランス制御方式：センサーフードバック方式・自己制御方式
④性能評価：イオンバランス・イオンバランスの均一性・減衰特性・誘導帯電の有無・EMI
・初心者の方でもわかりやすい解説と、実験を踏まえた内容とします。
・時間は2時間（Q＆A含む）
II.製造現場における静電気対策基礎編：
・各種製造工程における静電気問題点と対策
①半導体製造工程（前工程・後工程）
②液晶製造工程
③PC基板製造工程
④シート材製造（フィルム等）
⑤射出成型工程
⑥製品組み立て工程
質疑・応答
講師紹介
略歴
1984年：米国静電気測定器メーカー（TREK INC）日本総代理店勤務（緑屋電気株式会社）
1987年：米国静電気測定器メーカー日本法人勤務（トレック・ジャパン株式会社）
2007年：同社取締役
2009年：同社アメリカ本社 TREK INC副社長（Vice President, Sales and Marketing）
2014年：シシド静電気株式会社
2017年：株式会社HAA光学（顧問）
現在、シシド静電気株式会社と株式会社HAA光学両社の顧問
