薄膜の応力,剥離・破壊に関わる基礎,評価方法,解析方法,薄膜の剥離ﾄﾗﾌﾞﾙ対処の
具体的手順,薄膜の応力と剥離モードに応じた材料設計の考え方について,
実践的に分かりやすく解説する特別セミナー！！
- 講師
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ペルノックス株式会社 開発センター長 工学博士 岩村 栄治 先生
- 日時
- 会場
- ※本セミナーはWEB受講のみとなります。
- 受講料
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（消費税等込み）1名：49,500円 同一セミナー同一企業同時複数人数申込みの場合 1名：44,000円
- テキスト
受講概要
受講形式 WEB受講のみ ＊こちらのセミナーはZoomシステムを使用したオンラインセミナーとなります。 Zoomアプリのダウンロードをしなくてもブラウザから視聴可能です。 受講対象 薄膜材料・ﾃﾞﾊﾞｲｽの設計開発、製造ﾌﾟﾛｾｽ、品質管理にかかわる中堅技術者、初学者
予備知識
特に必要なし
習得知識
１）薄膜の応力や剥離・破壊に関わる基礎知識、評価方法、解析方法
２）薄膜の剥離ﾄﾗﾌﾞﾙに直面した時の具体的な対処手順
３）薄膜の応力と剥離ﾓｰﾄﾞに応じた、材料設計の考え方
講師の言葉
本講演では、スパッタや真空蒸着法で形成された金属・無機薄膜を中心に、さらには樹脂塗布膜を含んで、
薄膜の応力と密着性について理解し、実用上発生する様々な問題点を解決するために必要な知識を習得します。
膜応力と密着性を制御したい様々な状況の例を基に、応力の発生メカニズム、具体的な応力や密着力の測定法、
薄膜の剥離や破壊のメカニズムに関して、基本知識から評価方法と対策まで直感的にわかりやすく解説します。
初学者、中堅技術者で薄膜の応力と密着性に関してその本質を基本から習得したい方、新製品開発やトラブル
シューティング、さらには品質管理で応力や密着性に関する技術課題を解決したい方に適した内容です。
プログラム
１．薄膜の応力とは：膜応力の理解と制御のために必要な基礎知識 １．１ 膜応力を制御したいと思う状況と問題解決の手順 １．２ 薄膜の応力を理解し制御するための3つのポイント １．３ なぜ、どのように膜応力が発生するのか？： 金属膜・無機膜・樹脂膜の応力発生メカニズムと応力低減の方法 １．４ 知っておくべき内部応力の性質： パターニングされた膜、多層膜における膜応力とその影響 ２．薄膜の剥離・破壊と膜応力との関係：応力を低減すれば剥離は防げるのか？ ２．１ 薄膜の剥離・破壊とはどのような現象なのか？ ２．２ 膜剥離・破壊を理解し制御するための3つのポイント ２．３ 負荷条件と、膜の剥離・破壊原因および剥離・破壊ﾓｰﾄﾞ： 引張/圧縮力の負荷、ﾋｰﾄｻｲｸﾙ、高温保持による違いの理解 ２．４ 密着と粘着・接着との違い ２．５ なぜ剥離が生じるのか？： 様々な剥離トラブルの形態観察から密着性不良を起こした要因を読み取る方法 ２．６ 薄膜の剥離/破壊・密着力を理解し、 改善に繋がる効果的な考え方と密着力向上の手法 ３．薄膜の応力・密着力の測定： ３．１ 膜応力を評価したいがどの方法を選べば良いのか、測定データをどう使うのか？ ３．２ マクロ・ミクロ・温度変化・多層膜での膜応力の測り方： X線回折法、ラマン分光法、基板曲率法、最近の新しい膜応力の評価方法 ３．３ 密着力測定で特に注意したい点：測定条件の影響と測定値の持つ意味 ３．４ 密着力の具体的な測り方：テープテスト・3点曲げテスト ３．５ 密着力評価においてスクラッチ法が役立つ3つの理由： 得られる情報と密着力改善につながる材料設計への活かし方 ４．まとめ 講師紹介 略歴 １９９０年 東京大学工学研究科修士課程修了（金属工学専攻） ２０００年 工学博士 （東京大学） １９９０年～２００１年 （株）神戸製鋼所 技術開発本部 研究員 １９９４年～１９９６年 スタンフォード大学材料科学工学科 客員研究員 ２００２年～２００５年 科学技術振興機構 さきがけ研究２１ 個人研究者 ２００５年～ 荒川化学工業株式会社 (2013～ペルノックス株式会社) 専門領域 機能性材料設計、ナノ複合構造制御、薄膜形成プロセス、微細構造評価 所属学会 日本金属学会 受賞 日本金属学会論文賞、地方発明表彰支部長賞、全国発明表彰発明賞 著書 「薄膜の応力・密着力・剥離トラブルハンドブック＜Q&A集付＞」（情報機構）