薄膜の応力,剥離・破壊に関わる基礎,評価方法,解析方法,薄膜の剥離ﾄﾗﾌﾞﾙ対処の具体的手順,薄膜の応力と剥離モードに応じた材料設計の考え方について,実践的に分かりやすく解説する特別セミナー！！
- 講師
ペルノックス株式会社 開発センター長 工学博士 岩村 栄治 先生
- 日時
- 会場
- ※本セミナーはWEB受講のみとなります。
- 受講料
- （消費税率10%込）1名：49,500円 同一セミナー同一企業同時複数人数申込みの場合 1名：44,000円
※別途テキストの送付先1件につき、配送料1,210円（内税）を頂戴します。
- テキスト
受講概要
受講形式 WEB受講のみ ※本セミナーは、Zoomシステムを利用したオンライン配信となります。 テキスト 製本資料（受講料に含む） ※別途テキストの送付先1件につき、配送料1,210円（内税）を頂戴します。 受講対象 薄膜材料/デバイスの設計開発、製造プロセス、品質管理にかかわる中堅技術者、初学者 予備知識 特に必要ありません。 習得知識 １）薄膜の応力や剥離・破壊に関わる基礎知識、評価方法、解析方法 ２）薄膜の剥離トラブルに直面した時の具体的な対処手順 ３）薄膜の応力と剥離ﾓｰﾄﾞに応じた、材料設計の考え方 など 講師の言葉 本セミナーでは、スパッタや真空蒸着法で形成された金属・無機薄膜を中心に、さらには樹脂塗布膜を含んで、薄膜の応力と密着性について理解し、実用上発生する様々な問題点を解決するために必要な基本知識から評価方法、および対策までを習得します。 講演では、一つの技術課題とその解決のキーポイントの例示→その技術内容に関わる最低限知っておきたい基礎事項の紹介→具体的な例などを使ってより詳しい解説、という順で、膜応力と密着性を制御したい様々な状況の例を基に、なぜ・どのように膜応力が生じるか、膜応力や密着力を具体的にどう測るか、薄膜の剥離や破壊に対してどのように考えて対策を講ずるか、といったテーマに関して直感的にわかりやすく解説します。 初学者、中堅技術者で薄膜の応力と密着性に関してその本質を基本から習得したい方、新製品開発やトラブルシューティング、さらには品質管理で応力や密着性に関する技術課題を解決したい方に適した内容です。 受講者の声 ・大変興味深く拝聴させていただきました。勉強になる内容でよかったです。ありがとうございます。 ・大変わかりやすく説明いただきました。応力についての部分、測定方法が難しかったですが、文献等も多くご紹介いただきましたので自分で調べてみようと思います。セミナーテキストが片面印刷で大変使いやすいです。 ・改善までの手法をシンプルに考えることができました。有意義な内容で満足です。
プログラム
１．薄膜の応力とは：膜応力の理解と制御のために必要な基礎知識 Introduction 膜応力を制御したいと思う状況と問題解決の手順 １．１ 薄膜の応力を理解し制御するための3つのポイント １．２ なぜ、どのように膜応力が発生するのか？： 金属膜・無機膜・樹脂膜の応力発生メカニズムと応力低減の方法 １．３ 知っておくべき内部応力の性質： パターニングされた膜、多層膜における膜応力とその影響 ２．薄膜の剥離・破壊と膜応力との関係：応力を低減すれば剥離は防げるのか？ Introduction 薄膜の剥離トラブルの解決に苦労する理由 ２．１ 薄膜の剥離・破壊とはどのような現象なのか？ ２．２ 負荷条件と、膜の剥離・破壊原因および剥離・破壊ﾓｰﾄﾞ： 引張/圧縮力の負荷、ﾋｰﾄｻｲｸﾙ、高温保持による違いの理解 ２．３ 膜剥離・破壊を理解し制御するための3つのポイント ２．４ 密着と粘着・接着との違い ２．５ 様々な剥離トラブルの形態観察から密着性不良を起こした要因を読み取る方法 ２．６ 薄膜の剥離/破壊・密着力を理解し、改善に繋がる効果的な考え方と密着力向上の手法 ３．薄膜の応力・密着力の測定 Introduction なぜ薄膜の分析評価で苦労することが多いのか？ ３．１ 膜応力を評価したいがどの方法を選べば良いのか、測定データをどう使うのか？ ３．２ マクロ・ミクロ・温度変化・多層膜での膜応力の測り方 ３．３ 密着力の測り方と測定で特に注意したい点：測定条件の影響と測定値の持つ意味 ３．４ 密着力評価においてスクラッチ法が役立つ3つの理由： 得られる情報と密着力改善につながる材料設計への活かし方 ４．まとめ 質疑・応答 講師紹介 略歴 １９９０年 東京大学工学研究科修士課程修了（金属工学専攻） ２０００年 工学博士 （東京大学） １９９０年～２００１年 （株）神戸製鋼所 技術開発本部 研究員 １９９４年～１９９６年 スタンフォード大学材料科学工学科 客員研究員 ２００２年～２００５年 科学技術振興機構 さきがけ研究２１ 個人研究者 ２００５年～ 荒川化学工業株式会社 (2013～ペルノックス株式会社) 専門領域 機能性材料設計、ナノ複合構造制御、薄膜形成プロセス、微細構造評価 所属学会 日本金属学会 受賞 日本金属学会論文賞、地方発明表彰支部長賞、全国発明表彰発明賞 著書 「薄膜の応力・密着力・剥離トラブルハンドブック＜Q&A集付＞」（情報機構）