クリーンルームにおける清浄度管理と清掃および作業員管理・教育

１．クリーンルーム（以下，CR）の基礎
　(1)清浄度とは何か？
　(2)CRの種類・形式・変遷

２．クリーンルーム内の汚染物質
［塵埃］
　(1)塵埃の性質
　　a.気流との関係，拡散範囲
　　b.［演習］空気中で微小粒子はどのように移動するのか？
　　c.発塵による塵埃の拡散（その汚染範囲は？）
　(2)人・物からの発塵
　　a.拡散範囲，内圧変動，摺動発塵
　　b.製品と人と製造装置の位置関係の影響
　　c.衣類の摺動による発塵
　　d.人からの発塵

３．クリーンルーム内の作業員管理と教育
　(1)CRの4原則
　(2)クリーンスーツ着衣人体からの発塵機構
　　a.クリーン手袋からの発塵
　　b.クリーンスーツ内の圧力変動
　　c.クリーンスーツを通しての発塵
　　d.［演習］人体からの塵埃拡散範囲
　(3)人の適正な位置取り・適正な動作とは？
　(4)クリーンスーツの選定，洗濯頻度
　　a.クリーンスーツ選定の要件
　　b.クリーンスーツのフィルタ効率と運動発塵量との関係
　　c.クリーンスーツの劣化
　(5)クリーン手袋は上か下か？
　(6)エアシャワーの効果

４．さらなる清浄化への指針（対策）
　(1)微小塵埃／ミスト／気流を把握 → そして対策へ
　(2)普遍的な対策コンセプトとは？
　(3)除去／抑制の手順と考え方

５．クリーンルームの清掃
　(1)清掃の種類と方法
　(2)各部位の清掃方法･頻度，特定表面の清掃
　(3)注意点

６．クリーンルームの国内外関連規格の最新動向
　ISO規格，JIS規格，JACA指針など

７．参考文献紹介（初級～上級まで，主要なものを表紙画像と内容も含め紹介）

講師紹介

略歴　１９８０年代より，主にクリーンルームに関する研究・開発に従事。
　現在は，長年の成果品の情報整備と活用，技術営業，社内外教育，社内教育プログラム設計，社内プレゼンテーション講師，
　学協会活動，講演，執筆，通信教育（社外），知的財産権管理等を行っている。
　講演回数６０回（累計３９３．０時間），執筆８８件，通信教育１２件．

学協会活動
・ＩＳＯ／ＴＣ国内委員会委員（日本空気清浄協会）
・ＪＩＳ Ｂ ９９２０ 改正原案作成委員会　本委員会委員
・「クリーンテクノロジー」誌　編集委員

著書・執筆
・「半導体製造装置用語辞典」（第4版）(1997)共著
・「液晶ディスプレイ製造装置用語辞典」（第2版）(2003)共著
・「――初心者のための――クリーンルーム入門 」(2005)共著
・「――初心者のための――クリーンルーム入門（第2版）」(2007)共著
・「クリーンルーム通信教育」テキスト(2007)
・「微生物管理実務と最新試験法」第6章クリーンルームの浮遊塵埃数と空中浮遊菌の測定および環境管理(2007)
・「クリーンルームの設計・施工マニュアル」(2008)共著
・「――初心者のための――クリーンルーム入門（第3版）」(2008)共著
　　　・講演録「クリーンルームの基礎と汚染対策、作業員教育」第1刷(2009)
　　　・「クラス10,000のクリーン管理　――局所高清浄度域の確保と維持――」通信教
育テキスト(2009)
　　　・「――初心者のための――クリーンルーム入門（第4版）」(2010)共著
・「わかりやすいクリーンルーム総合講座　――歩留まり向上のための改善ポイント
――」通信教育テキスト(2010)
・「クリーンルーム国際資格認証制度の動向」(2010)
・「わかりやすいクリーンルーム総合講座　――歩留まり向上のための改善ポイント
――」通信教育テキスト(2011)
・講演録「クリーンルームの基礎と汚染対策、作業員教育」第2刷(2011)
・「クリーンルームで発生する総合トラブル対策　－実例集－」(2012)共著
・”わかりやすく学べる　クリーンルームの基礎と汚染対策　第1回　クリーンルー
ムとは何者か? ”;クリーンテクノロジー,pp.65-70,22(8)(2012)
・”わかりやすく学べる　クリーンルームの基礎と汚染対策　第2回　クリーンルー
ムの基礎”;クリーンテクノロジー,pp.59-65,22(9)(2012)
・”わかりやすく学べる　クリーンルームの基礎と汚染対策　第3回　塵埃・ミスト
(その1)”;クリーンテクノロジー,pp.68-74,22(10)(2012)
　　　・”わかりやすく学べる　クリーンルームの基礎と汚染対策　第4回　塵埃・ミスト
(その2) ”;クリーンテクノロジー,pp.71-77,22(11)(2012)
・”わかりやすく学べる　クリーンルームの基礎と汚染対策　第5回　塵埃・ミスト
(その3) ”;クリーンテクノロジー,pp.52-60,22(12)(2012)
・”わかりやすく学べる　クリーンルームの基礎と汚染対策　第6回　補講”;クリー
ンテクノロジー,pp.67-76,23(1)(2013)
・”わかりやすく学べる　クリーンルームの基礎と汚染対策　第7回　注意事項及び
ケミカル汚染物質(その1)”;クリーンテクノロジー,pp.63-70,23(2)(2013)
・”わかりやすく学べる　クリーンルームの基礎と汚染対策　第8回　ケミカル汚染
物質(その2)”;クリーンテクノロジー,pp.57-64,23(3)(2013)

・”わかりやすく学べる　クリーンルームの基礎と汚染対策　第9回　ケミカル汚染
物質(その3)”;クリーンテクノロジー,pp.65-71,23(4)(2013)
・”わかりやすく学べる　クリーンルームの基礎と汚染対策　第10回　ケミカル汚
染物質(その4)”;クリーンテクノロジー,pp.68-73,23(5)(2013)
・”わかりやすく学べる　クリーンルームの基礎と汚染対策　第11回　微生物(その
1)”;クリーンテクノロジー,pp.63-68,23(6)(2013)
・”わかりやすく学べる　クリーンルームの基礎と汚染対策　第12回　微生物(その
2)”;クリーンテクノロジー,pp.50-56,23(7)(2013)
・”わかりやすく学べる　クリーンルームの基礎と汚染対策　第13回　微生物(その
3)”;クリーンテクノロジー,pp.57-62,23(8)(2013)
・”わかりやすく学べる　クリーンルームの基礎と汚染対策　第14回　微生物(その
4)”;クリーンテクノロジー,pp.64-70,23(9)(2013)
・”わかりやすく学べる　クリーンルームの基礎と汚染対策　第15回　微生物(その
5)及び対策の内容展開の方針”;クリーンテクノロジー,pp.61-66,23(10)(2013)
・”わかりやすく学べる　クリーンルームの基礎と汚染対策　第16回　対策－各論[塵埃・ミスト(その1)]”;クリーンテクノロジー,23(11),pp.68-74(2013)
・”わかりやすく学べる　クリーンルームの基礎と汚染対策　第17回　対策－各論[塵埃・ミスト(その2)]”;クリーンテクノロジー,23(12),pp.72-78(2013)
・”わかりやすく学べる　クリーンルームの基礎と汚染対策　第18回　対策－各論[塵埃・ミスト(その3)]”;クリーンテクノロジー,24(1),pp.71-77(2014)
・”わかりやすく学べる　クリーンルームの基礎と汚染対策　第19回　対策－各論[塵埃・ミスト(その4)]”;クリーンテクノロジー,24(2),pp.66-73(2014)
・”わかりやすく学べる　クリーンルームの基礎と汚染対策　第20回　対策－各論[ケミカル汚染物質(その1)]”;クリーンテクノロジー,24(3),pp.63-70(2014)
　　　・“実験者／試験検査員の誤ったデータの取扱い・試験誤操作防止策”　第７章　試
験室，実験室設備の設計　第３節　実験室の各種フィルタ,pp.219-226(2014.3.31)
・”わかりやすく学べる　クリーンルームの基礎と汚染対策　第21回　対策－各論[ケミカル汚染物質(その2)]”;クリーンテクノロジー,24(4),pp.71-77(2014)
・”わかりやすく学べる　クリーンルームの基礎と汚染対策　第22回　対策－各論[ケミカル汚染物質(その3)]”;クリーンテクノロジー,24(5),pp.72-77(2014)
・”わかりやすく学べる　クリーンルームの基礎と汚染対策　第23回　対策－各論[ケミカル汚染物質(その4)]”;クリーンテクノロジー,24(7),pp. 73-78(2014)
・”わかりやすく学べる　クリーンルームの基礎と汚染対策　第24回　対策－各論[ケミカル汚染物質(その5)]”;クリーンテクノロジー,24(8),pp. 58-65(2014)
・”わかりやすく学べる　クリーンルームの基礎と汚染対策　第25回　対策－各論[ケミカル汚染物質(その6)]”;クリーンテクノロジー,24(9),pp. 52-58(2014)
・”わかりやすく学べる　クリーンルームの基礎と汚染対策　第26回　対策－各論[ケミカル汚染物質(その7)]”;クリーンテクノロジー,24(10),pp. 55-62(2014)
・”わかりやすく学べる　クリーンルームの基礎と汚染対策　第27回　対策－各論[ケミカル汚染物質(その8)]”;クリーンテクノロジー,24(11),pp. 52-58(2014)


・”わかりやすく学べる　クリーンルームの基礎と汚染対策　第28回　対策－各論[ケミカル汚染物質(その9)]”;クリーンテクノロジー,25(6),pp.56-63(2015)
・”わかりやすく学べる　クリーンルームの基礎と汚染対策　第29回　対策－各論[ケミカル汚染物質(その10)]”;クリーンテクノロジー,25(7),pp.67-74(2015)
・”わかりやすく学べる　クリーンルームの基礎と汚染対策　第30回　対策－各論[ケミカル汚染物質(その11)]”;クリーンテクノロジー,25(8),pp.70-75(2015)
・”わかりやすく学べる　クリーンルームの基礎と汚染対策　第31回　対策－各論[ケミカル汚染物質(その12)]”;クリーンテクノロジー,25(9),pp.62-67(2015)
・”わかりやすく学べる　クリーンルームの基礎と汚染対策　第32回　対策－各論[ケミカル汚染物質(その13)]”;クリーンテクノロジー,25(10),pp.69-74(2015)
・”わかりやすく学べる　クリーンルームの基礎と汚染対策　第33回　対策－各論[ケミカル汚染物質(その14)]”;クリーンテクノロジー,25(11),pp.57-62(2015)
・「クリーンルームの設計・施工マニュアル【改訂版】」(2015)共著
・”わかりやすく学べる　クリーンルームの基礎と汚染対策　第34回　対策－各論[微生物(その1)]”;クリーンテクノロジー,26(2),pp.57-62(2016)．
・”わかりやすく学べる　クリーンルームの基礎と汚染対策　第35回　対策－各論[微生物(その2)]”;クリーンテクノロジー,26(3),pp.68-73(2016)
・”わかりやすく学べる　クリーンルームの基礎と汚染対策　第36回　対策－各論[微生物(その3)]”;クリーンテクノロジー,26(4),pp.60-65(2016)
・”わかりやすく学べる　クリーンルームの基礎と汚染対策　第37回　対策－各論[微生物(その4)]”;クリーンテクノロジー,26(5),pp.68-73(2016)
・”わかりやすく学べる　クリーンルームの基礎と汚染対策　第38回　対策－各論[微生物(その5)]”;クリーンテクノロジー,26(6),pp.67-74(2016)
・”わかりやすく学べる　クリーンルームの基礎と汚染対策　第39回　対策－各論[微生物(その6)]”;クリーンテクノロジー,26(7),pp.65-71(2016)
・”わかりやすく学べる　クリーンルームの基礎と汚染対策　第40回　対策－各論[微生物(その7)]”;クリーンテクノロジー,26(8),pp.52-58(2016)
・”わかりやすく学べる　クリーンルームの基礎と汚染対策　第41回　対策－各論[微生物(その8)]”;クリーンテクノロジー,26(9),pp.59-64(2016)
・”わかりやすく学べる　クリーンルームの基礎と汚染対策　第42回　対策－各論[微生物(その9)]”;クリーンテクノロジー,26(10),pp.70-75(2016)
・”わかりやすく学べる　クリーンルームの基礎と汚染対策　第43回　対策－各論[微生物(その10)]”;クリーンテクノロジー,26(11),pp.72-77(2016)
・「より良いクリーンルーム実現のための基礎知識と重要ポイント」通信教育テキスト(2016)
・”わかりやすく学べる　クリーンルームの基礎と汚染対策　第44回　対策－総論(その1)”;クリーンテクノロジー,26(12),pp.65-70(2016)
・”わかりやすく学べる　クリーンルームの基礎と汚染対策　第45回　対策－総論(その2)”;クリーンテクノロジー,27(1),pp.68-72(2017)
・”わかりやすく学べる　クリーンルームの基礎と汚染対策　第46回　対策－総論(その3)”;クリーンテクノロジー,27(2),pp.53-62(2017)
・”わかりやすく学べる　クリーンルームの基礎と汚染対策　第47回　対策－総論(その4)”;クリーンテクノロジー,27(3),pp.63-70(2017)
・”わかりやすく学べる　クリーンルームの基礎と汚染対策　第48回　対策－総論(その5)”;クリーンテクノロジー,27(4),pp.69-75(2017)
・”わかりやすく学べる　クリーンルームの基礎と汚染対策　第49回　対策－総論(その6)”;クリーンテクノロジー,27(5),pp.52-58(2017)
・「わかりやすいクリーンルーム総合講座　歩留まり向上のための改善ポイント」通信教育テキスト(2017)
・”わかりやすく学べる　クリーンルームの基礎と汚染対策　第50回　対策－総論(その7)”;クリーンテクノロジー,27(7),pp.65-71(2017)
・”わかりやすく学べる　クリーンルームの基礎と汚染対策　第51回　対策－総論(その8)”;クリーンテクノロジー,27(8),pp.59-65(2017)
・”わかりやすく学べる　クリーンルームの基礎と汚染対策　第52回　その他－局所高清浄度域の確保と維持(その1)”;クリーンテクノロジー,27(9),pp.65-71(2017)
・”わかりやすく学べる　クリーンルームの基礎と汚染対策　第53回　その他－局所高清浄度域の確保と維持(その2)”;クリーンテクノロジー,27(10),pp.70-75(2017)
・”わかりやすく学べる　クリーンルームの基礎と汚染対策　第54回　その他－局所高清浄度域の確保と維持(その3)”;クリーンテクノロジー,27(11),pp.69-73(2017)
・”わかりやすく学べる　クリーンルームの基礎と汚染対策　第55回　その他－局所高清浄度域の確保と維持(その4)”;クリーンテクノロジー,27(12),pp.73-77(2017)
・”半導体製造におけるクリーンテクノロジー”;クリーンテクノロジー,28(1),pp.5-11(2018)
・”わかりやすく学べる　クリーンルームの基礎と汚染対策　第56回　その他－局所高清浄度域の確保と維持(その5)”；クリーンテクノロジー，28(2),pp.62-67(2018)
・”わかりやすく学べる　クリーンルームの基礎と汚染対策　第57回　その他－局所換気回数について(その1)”;クリーンテクノロジー,28(3),pp.54-58(2018)
・”わかりやすく学べる　クリーンルームの基礎と汚染対策　第58回　その他－局所換気回数について(その2);クリーンテクノロジー,28(4),pp.60-65(2018)
・”わかりやすく学べる　クリーンルームの基礎と汚染対策　第59回　その他－局所換気回数について(その3)”;クリーンテクノロジー,28(5),pp.64-69(2018)
・「わかりやすいクリーンルーム総合講座　歩留まり向上のための改善ポイント」通信教育テキスト(2018)
・”わかりやすく学べる　クリーンルームの基礎と汚染対策　第60回　その他－局所換気回数について(その4)”;クリーンテクノロジー,28(7),pp.51-56(2018)
・”わかりやすく学べる　クリーンルームの基礎と汚染対策　第61回　その他－局所換気回数について(その5)”;クリーンテクノロジー,28(8),pp. 68-72(2018)

・”わかりやすく学べる　クリーンルームの基礎と汚染対策　第62回　その他－局所換気回数について(その6)”;クリーンテクノロジー,28(9),pp.64-71(2018)
・”わかりやすく学べる　クリーンルームの基礎と汚染対策　第63回　その他－局所換気回数について(その7)”;クリーンテクノロジー,28(10),pp. 63-70(2018)
・”わかりやすく学べる　クリーンルームの基礎と汚染対策　第64回　その他－局所換気回数について(その8)”;クリーンテクノロジー,28(11),pp. 69-75(2018)
・”わかりやすく学べる　クリーンルームの基礎と汚染対策　第65回　その他－局所換気回数について(その9)”;クリーンテクノロジー,28(12),pp. 66-70(2018)
・”わかりやすく学べる　クリーンルームの基礎と汚染対策　第66回　その他－乱流強度について”;クリーンテクノロジー,29(1),pp. 本原稿執筆時に頁数未確定(2018)
（全67回連載の予定）．