洗浄のメカニズム，洗浄プロセス，各種洗浄法，乾燥技術，洗浄評価法，
各種汚れに応じた残存汚れの定量的測定評価法を解説する特別セミナー！！
- 講師
日本産業洗浄協議会 シニアアドバイザー 平塚 豊 先生
- 日時
- 会場
- 受講料
- 1名：48,600円 同時複数人数申込みの場合 1名：43,200円
- テキスト
受講概要
予備知識
大学教養課程レベルの物理および化学
習得知識
（１）精密洗浄プロセスの構築に役立つ洗浄剤や洗浄手法の知識 （２）洗浄評価を行うための各種汚れの残存量の測定法
講師の言葉
近年精密洗浄の必要な事例が増えているが、有効かつ効果的に精密洗浄を行うには、被洗浄物や汚れに適合した洗浄剤や 洗浄手法を選ばなければならない。そのために必要な基礎的な知識を取り上げて解説する。 また洗浄によって要求されたきれいさが実現したかは、洗浄後の表面に残っている汚れの量を計測してはじめて確認できる。 その場合、求められている洗浄品質にあった計測法を用いなければならない。本講では汚れ別に使用される測定法を説明する。
プログラム
１．精密洗浄と一般洗浄との違い １．１ 洗浄対象物 １．２ 要求清浄度 ２．汚れの種類と適用洗浄剤 ２．１ 汚れの分類と具体例 ２．２ 汚れの付着形態 ２．３ 汚れの付着力 ２．４ 洗浄剤の分類 ２．５ 洗浄剤の特徴と汚れへの適用性 （１）水系洗浄剤 （２）非水系（溶剤系）洗浄剤 （３）準水系洗浄剤 （４）機能水 ３．洗浄メカニズム ３．１ 汚れの洗浄剤への溶解・可溶化 ３．２ 汚れの分解 ３．３ 汚れを物理作用で表面より剥離 ３．４ 汚れを表面層のエッチングで剥離 ３．５ 汚れをマイクロバブル界面へ吸着 ４．洗浄プロセスのステップと汚れの再付着対策 ４．１ 洗浄プロセスのステップ ４．２ ゼータ電位による再付着制御 ５．洗浄手法各論 （１）ブラシ洗浄 （２）液体噴射洗浄 （３）二流体噴射洗浄 （４）ドライアイス噴射洗浄 （５）極低温エアロゾル噴射洗浄 （６）超音波洗浄 （７）蒸気洗浄 （８）真空洗浄 （９）マイクロバブル洗浄 （１０）光洗浄 （１１）パルスレーザー洗浄 （１２）大気圧プラズマ洗浄 （１３）超臨界炭酸ガス流体洗浄 ６．リンス技術 ７．乾燥技術 （１）乾燥しみの原因 （２）ウオターマーク発生メカニズム （３）スピン乾燥 （４）IPA蒸気乾燥 （５）マランゴニ乾燥 ８．洗浄効果と表面清浄度の評価 ９．簡易洗浄評価法 （１）目視検査 （２）顕微鏡観察 （３）水濡れテスト （４）接触角測定 （５）その他の方法 １０．光散乱法による付着粒子計数法 （１）基板面検査 （２）部品洗浄採取液中の粒子数測定 １１．有機汚れの定量法 （１）溶媒抽出紫外吸光度測定法 （２）加熱脱着ガスクロ法 （３）多重反射赤外吸収測定法 （４）オージェ電子・光電子分光法 １２．金属汚れの定量法 （１）汚れ試料採取法 （２）フレームレス原子吸光法 （３）誘導結合プラズマ質量分析法 （４）全反射蛍光X線分析法 （５）二次イオン質量分析法 １３．イオン性汚れの定量法 （１）試料採取法 （２）イオンクロマト法
講師紹介
略歴：日立生産技術研究所にて電子部品材料の分析技術、精密洗浄技術の研究開発に従事 日立プラント建設にてクリーン化、洗浄技術および洗浄装置の研究開発に従事 (株）ダン科学にて研究開発部長として洗浄技術・装置の開発に従事 その後現職 所属学会：American Chemical Society, Electrochemical Society 活動状況：洗浄技術に関する種々の学会誌や雑誌に発表 日本産業洗浄協議会発行の技術誌「産業洗浄」の編集委員長 東京都VOC対策アドバイザー